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      氬氣

      發布時間: 2017-03-22 17:56 

      國標編號22011,CAS號7440-37-1,分子式 Ar,分子量39.95,無色無臭的惰性氣體;蒸汽壓202.64kPa(-179℃);熔點 -189.2℃;沸點-185.7℃;溶解性:微溶于水;密度:相對密度(水=1)1.40(-186℃);相對密度(空氣=1)1.38;穩定性:穩定;危險標記5(不燃氣體);主要用途:用于燈泡充氣和對不銹鋼、鎂、鋁等的電弧焊接,即“氬弧焊”。
             氬氣的應用領域:
             不銹鋼焊接保護氣體、鋁合金焊接保護氣體、銅合金的焊接保護氣體、高純氬氣廣泛用于ICP光譜儀、高純氬氣廣泛用于節能燈、白熾燈、日光燈的填充氣體、高純氬氣用于ArF準分子激光氣體、超純氬氣用于電子行業制造。
            氬氣的特殊用途:
              用于焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣,為了提高硅晶體的質量,如何選用較高純度的氬氣,是制作硅晶體的一個議題。通過對本裝置的使用,氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時,水分也小于1ppm時,制作出的單晶硅其氧碳含量***小于0.5ppm,這樣***提高了單晶的使用壽命并能達到要求,贏得客戶的滿意和市場的需求。由于一般液氬汽化后未經過純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應商提供的氬氣超過了此范圍,但使用氬氣的客戶確不知道其質量,所以往往給生產產品質量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質量如何,只要經過純化裝置的處理后,進入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的。一般 O2<0.2ppm,水分<1ppm,這樣穩定的氬氣對生產晶體質量是有******的。
          大氣壓等離子滲氮因其工業化前景獲得格外關注,但研究者多關注于工藝參數對金屬氮化物薄膜性能的影響,對等離子體改性過程中光譜輻射特性的研究較少。同時為獲得穩定的N2等離子體放電,通常在反應器中添加一定量的氬氣。

      上一產品工業氧氣
      下一產品二氧化碳
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